Układ dwóch nanomanipulatorów typu miBot firmy IMINa, kompatybilny ze skanningowym mikroskopem elektronowo-jonowym VERSA 3D.

Układ ten pozwalana pomiary oporu in-situ w trakcie procesu nanostrukturyzacji oraz manipulację pojedynczymi sub-mikronowymi obiektami. Każdy z nanomanipulatorów posiada 3 osie wzdłuż których może się poruszać z dokładnością do pojedynczych nanometrów oraz możliwość obrotu. Promień zaokrąglenia sondy pomiarowej wynosi od 100 do 500 nm i umożliwia przepuszczanie prądów o natężeniu 100mA.

Do pomiarów oporu wykorzystujemy zewnętrzną elektronikę pomiarową, np. urządzenie Keithley 2400.

Osoba odpowiedzialna

dr inż. Aleksandra Szkudlarek