Versa 3D jest wysokorozdzielczym dwuwiązkowym skaningowym mikroskopem elektronowym wyposażonym w działo elektronowe z emisją polową (Field Emission Gun - FEG) oraz jonowe (Focused Ion Beam - FIB). Umożliwia pracę z napięciem przyspieszającym w zakresie od 200 V do 30 kV. Zdolność rozdzielcza mikroskopu definiowana jako rozdzielczość obrazów elektronów wtórnych przy napięciu przyspieszającym 30 kV na standardowej próbce cząstek złota na błonie węglowej wynosi 1 nm w trybie wysokiej próżni – HV (1.5 nm w trybie niskiej próżni - LV). Mikroskop wyposażony jest w spektrometr dyspersji energii promieniowania rentgenowskiego (Energy Dispersive X-ray Spectrometer - EDS) typu SDD o spektralnej zdolności rozdzielczej 136 eV (dla linii Mn Kα). Dodatkowo, zintegrowany system EDS/EBSD umożliwia wskaźnikowanie obrazów dyfrakcyjnych oraz identyfikację faz w oparciu o informację o składzie chemicznym, wykorzystując funkcję jednoczesnej akwizycji danych EBSD i danych spektralnych EDS.

PARAMETRY PRACY

Napięcie przyspieszające

Działo elektronowe

Działo jonowe

200 eV - 30 keV

500 eV - 30 keV

Źródło

FEG

Ga+

Rozdzielczość

1 nm@30 kV (HV), 1.5 nm@30 kV (LV)

Powiększenie

30x - 1.280.000x

Detektory

ETD, CBS, LVSED, GSED, STEM (BF, DF, HAADF), EDS, EBSD

Tryby pracy

Wysoka (HV), niska próżnia (LV) oraz środowiskowy (ESEM)

Badania in-situ

Dwa stoliki grzewcze (1000°C i 1500°C), stolik Peltiera (-20°C do R.T.)

Osoba kontaktowa:

Dr inż. Katarzyna Berent

 

    
Skaningowy mikroskop elektronowy
    
Skaningowy mikroskop elektronowy