Mikroskop Quanta 3D 200i typu „dual beam” jest urządzeniem dedykowanym do preparatyki cienkich folii do badań TEM/STEM. Instrument wyposażony jest w dwa działa: elektronowe (włókno wolframowe) oraz jonowe (Ga+). Umożliwia pracę przy napięciach przyspieszających z zakresu 500 V - 30 kV. Maksymalny prąd wiązki jonowej wynosi 65 nA. Mikroskop wyposażony jest w mikromanipulator (Omniprobe) do przenoszenia cienkich folii oraz system precyzyjnego dozowania gazów roboczych (GIS) służący do depozycji platyny. Technika SEM/FIB umożliwia preparatykę cienkich folii z wybranego miejsca próbki z dokładnością do kilku µm.

PARAMETRY PRACY

Rodzaj źródła elektronowego

Włókno W

Napięcia przyspieszające

500 V – 30 kV

Detektory

LFD, GSED, SS STEM, Low kv SS BSED

Działo jonowe

Ga

Prądy wiązki

1.5 pA - 65 nA

Mikromanipulator

Omniprobe Model 100.7

GIS

Pt

Holdery

Dual TEM Grid Holder, Universal Lift-out Holder

Osoba kontaktowa:

Dr inż. Marta Gajewska

    
Skaningowy mikroskop elektronowy