Skaningowy mikroskop elektronowy SEM/FIB Quanta 3D 200i (FEI)

  • by

Mikroskop Quanta 3D 200i typu „dual beam” jest urządzeniem dedykowanym do preparatyki cienkich folii do badań TEM/STEM. Instrument wyposażony jest w dwa działa: elektronowe (włókno wolframowe) oraz jonowe (Ga+). Umożliwia pracę przy napięciach przyspieszających z zakresu 500 V – 30 kV. Maksymalny prąd wiązki jonowej wynosi 65 nA. Mikroskop wyposażony jest w mikromanipulator (Omniprobe) do przenoszenia cienkich folii oraz system precyzyjnego dozowania gazów roboczych (GIS) służący do depozycji platyny. Technika SEM/FIB umożliwia preparatykę cienkich folii z wybranego miejsca próbki z dokładnością do kilku µm.

PARAMETRY PRACY
Rodzaj źródła elektronowego Włókno W
Napięcia przyspieszające 500 V – 30 kV
Detektory LFD, GSED, SS STEM, Low kv SS BSED
Działo jonowe Ga
Prądy wiązki 1.5 pA – 65 nA
Mikromanipulator Omniprobe Model 100.7
GIS Pt
Holdery Dual TEM Grid Holder, Universal Lift-out Holder

Osoba kontaktowa:

dr inż. Marta Gajewska