Mikroskop Quanta 3D 200i typu „dual beam” jest urządzeniem dedykowanym do preparatyki cienkich folii do badań TEM/STEM. Instrument wyposażony jest w dwa działa: elektronowe (włókno wolframowe) oraz jonowe (Ga+). Umożliwia pracę przy napięciach przyspieszających z zakresu 500 V – 30 kV. Maksymalny prąd wiązki jonowej wynosi 65 nA. Mikroskop wyposażony jest w mikromanipulator (Omniprobe) do przenoszenia cienkich folii oraz system precyzyjnego dozowania gazów roboczych (GIS) służący do depozycji platyny. Technika SEM/FIB umożliwia preparatykę cienkich folii z wybranego miejsca próbki z dokładnością do kilku µm.
|
PARAMETRY PRACY |
|
|---|---|
|
Rodzaj źródła elektronowego |
Włókno W |
|
Napięcia przyspieszające |
500 V – 30 kV |
|
Detektory |
LFD, GSED, SS STEM, Low kv SS BSED |
|
Działo jonowe |
Ga |
|
Prądy wiązki |
1.5 pA – 65 nA |
|
Mikromanipulator |
Omniprobe Model 100.7 |
|
GIS |
Pt |
|
Holdery |
Dual TEM Grid Holder, Universal Lift-out Holder |