Versa 3D jest wysokorozdzielczym dwuwiązkowym skaningowym mikroskopem elektronowym wyposażonym w działo elektronowe z emisją polową (Field Emission Gun – FEG) oraz jonowe (Focused Ion Beam – FIB). Umożliwia pracę z napięciem przyspieszającym w zakresie od 200 V do 30 kV. Zdolność rozdzielcza mikroskopu definiowana jako rozdzielczość obrazów elektronów wtórnych przy napięciu przyspieszającym 30 kV na standardowej próbce cząstek złota na błonie węglowej wynosi 1 nm w trybie wysokiej próżni – HV (1.5 nm w trybie niskiej próżni – LV). Mikroskop wyposażony jest w spektrometr dyspersji energii promieniowania rentgenowskiego (Energy Dispersive X-ray Spectrometer – EDS) typu SDD o spektralnej zdolności rozdzielczej 136 eV (dla linii Mn Kα). Dodatkowo, zintegrowany system EDS/EBSD umożliwia wskaźnikowanie obrazów dyfrakcyjnych oraz identyfikację faz w oparciu o informację o składzie chemicznym, wykorzystując funkcję jednoczesnej akwizycji danych EBSD i danych spektralnych EDS.
|
PARAMETRY PRACY |
||
|---|---|---|
|
Napięcie przyspieszające |
Działo elektronowe |
Działo jonowe |
|
200 eV – 30 keV |
500 eV – 30 keV |
|
|
Źródło |
FEG |
Ga+ |
|
Rozdzielczość |
||
|
Powiększenie |
30x – 1.280.000x |
|
|
Detektory |
ETD, CBS, LVSED, GSED, STEM (BF, DF, HAADF), EDS, EBSD |
|
|
Tryby pracy |
Wysoka (HV), niska próżnia (LV) oraz środowiskowy (ESEM) |
|
|
Badania in-situ |
Dwa stoliki grzewcze (1000°C i 1500°C), stolik Peltiera (-20°C do R.T.) |
|
Oprogramowanie „Auto Slice & View” umożliwia automatyczną akwizycję danych (mikrofotografii SE/BSE) w SEM, które następnie wykorzystywane są do trójwymiarowej (3D) rekonstrukcji mikrostruktury.
Osoba kontaktowa:
[lightbox class=”panel-light-box text-center” type=”image” src=”images/Laboratoria/04/01/2.jpg”] [photo_panel background=”#F0F0F0″ border=”1px solid #dadada” photo=”images/Laboratoria/04/01/2.jpg”]Skaningowy mikroskop elektronowy[/photo_panel][/lightbox] [lightbox class=”panel-light-box text-center” type=”image” src=”images/Laboratoria/04/01/3.jpg”] [photo_panel background=”#F0F0F0″ border=”1px solid #dadada” photo=”images/Laboratoria/04/01/3.jpg”]Skaningowy mikroskop elektronowy[/photo_panel][/lightbox]