Układ dwóch nanomanipulatorów typu miBot firmy IMINa, kompatybilny ze skanningowym mikroskopem elektronowo-jonowym VERSA 3D.
Układ ten pozwalana pomiary oporu in-situ w trakcie procesu nanostrukturyzacji oraz manipulację pojedynczymi sub-mikronowymi obiektami. Każdy z nanomanipulatorów posiada 3 osie wzdłuż których może się poruszać z dokładnością do pojedynczych nanometrów oraz możliwość obrotu. Promień zaokrąglenia sondy pomiarowej wynosi od 100 do 500 nm i umożliwia przepuszczanie prądów o natężeniu 100mA.
Do pomiarów oporu wykorzystujemy zewnętrzną elektronikę pomiarową, np. urządzenie Keithley 2400.
Osoba odpowiedzialna
[photo_gallery source=”media: images/Laboratoria/LabSkanMikroElekDyfRentgeno/mikroboty/mikroboty1.JPG,images/Laboratoria/LabSkanMikroElekDyfRentgeno/mikroboty/mikroboty2.JPG,images/Laboratoria/LabSkanMikroElekDyfRentgeno/mikroboty/mikroboty3.JPG” limit=”6″ order=”title” width=”1050″ height=”990″ vertical_gap=”15″ large=”3″ medium=”2″]