Wysokopróżniowa napylarka Leica EM ACE600 do napylania cienkich warstw z dwóch źródeł różnych metali. W skład układu wchodzą:
- wewnętrzna, zintegrowana z systemem membranowa, bezolejowa pompa próżniowa oraz pompa turbomolekularna TMP
- 2 zintegrowane głowice do napylania metalem
- automatyczny stolik z regulowaną wysokością, rotacją i kątem napylania
- waga kwarcowa QSG do pomiaru grubości napylonej warstwy
Więcej o urządzeniu:
Napylarka stoi w Laboratorium Cienkich Warstw i Nanostruktur. Opiekunami urządzenia są dr inż. Kamila Kollbek i dr inż. Mateusz Marzec.