Laboratorium Ablacji Laserowej i Nanolitografii

Zespół pomieszczeń czystych wyposażony w aparaturę do procesów litografii elektronowej i trawienia jonowego (rozdzielczość 10 nm)

W pomieszczeniu czystym klasy 100 znajduje się urządzenie do litografii elektronowej (Raith eLine+). Układ przede wszystkim składa się z działa elektronowego, detektora elektronów wtórnych, detektora in-lens, interferometru… Czytaj więcej »Zespół pomieszczeń czystych wyposażony w aparaturę do procesów litografii elektronowej i trawienia jonowego (rozdzielczość 10 nm)